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影像=真實表面嗎? 藉由原子力顯微鏡雜訊來判斷樣品表面問題

2018-12-04
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你肯定了解利用原子力顯微鏡AFM可以獲得表面微細特徵,探究各式材料精細結構。
那你知道,如何判斷該影像究竟是微細結構或是雜訊呢?
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原子力顯微鏡(AFM)具備良好的XY橫向解析度及精準的Z軸方向解析度,在條件許可下,最佳解析度甚至可以看到原子尺度,若是搭配電子顯微鏡(SEM)及成份分析系統,無疑是材料領域最基礎的分析工具。

「見山是山,見山不是山,見山又是山。」這句話套用在AFM上面,是個不錯的解釋,究竟真正掃到的影像是不是等於原來真實的形貌?


圖片說明:這是一個標準片產生雜訊的簡單例子。而在樣分析上,因為結構細小,有時候常常會將一點點的雜訊誤認為原始結構。

我們直接進入重點,來看看學妹所提供的撞鬼影像:


圖片說明:左圖為原始影像,可以明顯看出有一step。右圖利用英文字母分別說明。

依據學妹說法,她單純的想了解黃A與黃B兩大區的step差異。

首先,想想我的老闆看到這張影像,他的臉應該會先微微的扭曲,然後口氣開始加重,接著就@#%$,(是不是大家的老闆們都這樣呢??)
 
別擔心,我們先吸一口氣!! 如果你像小編一樣心臟強壯的話,可以試試這麼說(大誤):
 
這張圖,其實主要想說明樣品上可能發生的問題。
 
A:這裡有一個規律的三角波訊號,猜測可能是探針與樣品之間有一些奇怪的作用力,比如是樣品製程異常或是保存過程中污染,亦有可能是這支探針也有些狀況在。

B:(這是比較常見的訊號!)可能是由樣品突然凸起,比如髒污或粒子,亦有可能是外來的振動所造成的跳針等等。

C:結合A與B的狀況,在step處,可以看到有一個疑似明顯較為突起的形貌。

D:step處突起的異物所造成訊號回饋不足所造成的,此處的白點大略都可視為雜訊。

E:字母E的下方,疑似有一顆較為巨大的顆粒,造成探針不穩定所造成該區的雜訊。

F:這裡的回饋訊號突然過大,可以試著把參數調整或搭配相位影像一起觀測,猜測此區有一些製程上的異常或殘留物。
 
大致上到這裡,可以跟老闆報告說此次的製程或樣品製備或保存的手法可能不好,需要什麼什麼資源才能得到什麼結果,藉此大撈一筆(誤?)
 
再進一步討論幾個點(如果老闆很有研究精神的話):
 
G:這裡看起來可能還有較小的粒子,可以試著zoom in確認再秀給老闆看。

h:這個看起來是成膜的顆粒,一樣可以zoom in去看一下狀況,確認成膜時品質是否達到老闆想要的條件。

H:比較像是雜訊所造成,不過G, h, H的解析度此次不是很足,如果老闆真的很想知道的話,可以zoom in補足資訊。
 
小結:
由這些字母組成可以解答學妹的這個樣品看起來不是那麼的乾淨,針對AFM的量測當然越是乾淨的樣品會越適合量測,雖然利用字母區可以短暫的說明該樣品的狀況,但是還是要完整的掃一張漂亮的影像才是適當的作法。
 
小編不負責小撇步:其實把黃色AB字母那區截圖或調整長寬比例掃這區就可以完成任務了,前提下是要老闆或客戶不介意小小的一張AFM影像。
 
 
最後小編留下兩個問題跟大家討論:
D字母右上方及F區上面的白色突起物是雜訊還是實際影像呢?歡迎分享你的答案在臉書專頁 https://pse.is/CWFDU,可以告訴小編你的答案或跟大家一起討論。

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