精密陶瓷產品如下,
1.
氮化鋁(Aluminium Nitride, AlN):導熱性高,絕緣性佳,適用於半導體製造設備零組件、熱輻射工件等。
2.
碳化矽(Silicon Carbide, SiC):耐腐蝕與高抗磨損特性,適用於半導體設備零組件與耐損耗工件。
3.
氮化矽(Silicon Nitride, Si3N4):抗高溫與穩定結構,適用於耐熱零件及半導體設備零組件等。
4.
氧化鋁(Aluminium oxide, Al2O3):具備高絕緣性,為最常見的陶瓷材料之一,適用範圍廣泛。
5.
氧化釔(Yttrium oxide,Y2O3):抗電漿侵蝕,適用於蝕刻組件。
6.
氧化鋯(Zirconium dioxide,ZrO2):具備高強度材料,適用於而磨耗零組件與刀具。
7.
其他陶瓷複合材料(Ceramic Composite Material)
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